关于降低沸石转轮设备内部VOCs残留的方（fāng）法（fǎ）

目前国内外对VOC的（de）末端治理方法有：冷凝、吸附、氧化、生物处（chù）理、吸（xī）收、等离子体净（jìng）化等。以（yǐ）沸石材料为（wéi）载（zǎi）体的吸附浓缩法处理VOC废气（沸石转轮（lún））得到了较为广泛的（de）应用。全国对VOCs污染物防治的要求和力（lì）度逐（zhú）渐加强，低浓度废气治理的（de）沸石转轮吸附浓缩法（fǎ）成（chéng）为了很多企（qǐ）业的优选治理方案。

降低沸石转轮设备内部VOCs残留可从改善VOCs废气的进气质量和加强脱附效率两（liǎng）方面入手（shǒu）。

（1）废气预处理

废气预处理措施通（tōng）常有除尘、除湿、除雾、除高沸物等。针对待处理的VOCs废气实际情况，选取适当（dāng）的废气预处理措施。比如，半导体生产制（zhì）造过程对生产场所的颗粒物（wù）有严（yán）格的要求，生产场所通常为洁净车间（jiān）。因（yīn）此，有机废气中的颗粒物含量（liàng）极少（shǎo），通常无需进行除尘预处理。

比（bǐ）如，芯片（piàn）制造业生产过程中使用的主要有机（jī）原料通（tōng）过具有低沸点（diǎn）、易挥发的特（tè）点，但仍不（bú）排除少量（liàng）高（gāo）沸点物质，如剥（bāo）离液的主（zhǔ）要成分二（èr）甘醇胺（沸（fèi）程218～224℃）等。可在高沸点物质主要使用工序（xù）增设冷凝、前道活性炭吸附等（děng）预处理装置，以降低（dī）VOCs废（fèi）气中难脱附高沸点物质进入沸石转轮。

高沸（fèi）点VOCs进入废气管（guǎn）道后容（róng）易（yì）产生凝结，从而使废气湿度增大。当（dāng）进入沸石（shí）转轮系统的有机废气湿度大于80%时，将（jiāng）对疏水性沸石分（fèn）子筛产生较为严重的影响。因此，建议企业对高湿度废（fèi）气增设干燥除湿预处理装置，使得进入废水转轮系统的（de）废气湿度保持在稳定、可控的范围内。

（2）高温再生

根（gēn）据对国内（nèi）芯片企业（yè）开展的调（diào）研可（kě）知，芯片制造业常用的有机物质（zhì）有异丙醇（沸点为82.45℃）、丙二醇单甲醚乙酸酯（沸点（diǎn）为146℃）；同时（shí）还含有少量（liàng）的高（gāo）沸点（diǎn）物质，例如二甘醇胺（沸程218～224℃）。

通常芯片制造业沸（fèi）石转轮的再（zài）生温度为180-200℃，在此再生温度下，高沸点的二甘醇胺等（děng）物质将无法从沸石转轮上有效脱附，从而逐渐积聚在转轮内部。

对沸石转轮系统的（de）高沸点物质（zhì）聚集情况开展了研究，当沸石转轮系统运行1个月后，转轮（lún）内部（bù）确（què）实有较大量的有机（jī）物积聚，其有机物积聚量即达6wt。进行有效的高温脱附之后，其内部的有机物积聚量可降低约40%～60%。因此，高温脱附可较为有（yǒu）效地去除沸石（shí）转轮内部积聚（jù）的高沸点有机物质。

企业（yè）应根据废气（qì）的实（shí）际产生情况，分析废（fèi）气组成分布，分析高沸点物质（zhì）占比情况（kuàng），以及废气的产生总量等内（nèi）容，从而确定高温再生频次（cì）。较为（wéi）适宜的高温再生频次（cì）为2～3个月一次。

高温（wēn）再生的温度（dù）也会影响高温脱附效果。若高温脱附温度选取过低，则高沸点物质仍无法有效脱除；若高温脱附温度选取过高，将（jiāng）对沸石分子筛的骨架结构产生一（yī）定的影响，从而降低其使用寿命。高温脱附温度宜选取300℃左右，并且，相（xiàng）应的（de）沸石转轮内部配件均需（xū）采用可耐300℃高温的密封配件（jiàn）。

(3)水洗再（zài）生

芯（xīn）片制（zhì）造业（yè）常（cháng）用的有机物质（如异（yì）丙醇、丙二（èr）醇单（dān）甲醚乙酸酯等）通常（cháng）具有较好的水溶性，可采用水洗再生的方式去除沸石（shí）转轮内部（bù）聚集的高沸点物质。

水（shuǐ）洗（xǐ）再生可有效提高沸石转轮系统的治理效率，对于工厂，当（dāng）水（shuǐ）洗再生次数达到（dào）4～6次/年时，沸石转轮系统的治（zhì）理效率可达95%～99%。因此，适当（dāng）增加定期水洗再生（shēng）频次（cì），可有（yǒu）效防止高沸点物质在沸石转轮内部的（de）聚集（jí），保持高效（xiào）的治理效率。

由于沸石转轮通常采用无机粘合剂将分（fèn）子筛涂覆在陶瓷纤维纸（zhǐ）表面制造而成。故水洗时不仅转轮（lún）不会发生龟裂形变，也不会发生由（yóu）于分子筛脱落（luò）所导致的性能劣化、使用（yòng）寿（shòu）命缩短等问题。

但是，水洗时（shí）需要注意水质状况，若其中大量（liàng）含有钙、镁等离子，将可能在沸石内部形（xíng）成碳酸盐，阻塞沸（fèi）石转轮的蜂窝状（zhuàng）孔道；水中所含微量重金属（shǔ）物质、氯等也会毒化沸石。

值得注（zhù）意的是，并非所有（yǒu）沸石转轮材质（zhì）均可耐水洗，企业应在水（shuǐ）性再生之前，向沸石转轮设备的（de）制造厂商做好相关的咨询工作。

（4）高压（yā）空气吹扫

企业在停机检维修期间，采用高压空气对沸石转轮进行（háng）吹（chuī）扫（sǎo）。然而（ér），高（gāo）压空（kōng）气吹扫通常只可清楚沸石转轮表面（miàn）附着的灰尘，而VOCs有机质通常吸附在分子筛孔道内部（bù），无法得到有效的脱除（chú），还需与上述其他处理（lǐ）方式配合选用。